展示会

2021年11月24日

今年の「VACUUM 2021 真空展」は、リアル会場とオンライン会場のハイブリット展での開催です。
皆様にご愛顧いただいている真空関連製品に加え、新製品のご紹介もいいたしますので、是非ご来場くださいますようお願い申し上げます。
アルバックグループから、アルバック、アルバック機工、アルバック・クライオ、昭和真空が出展いたします。

アルバック・グループ一同、皆様のお越しを心よりお待ち申し上げております。

■リアル会場 【アルバックブース小間番号: V-25】 オンライン会場 【Go to VACUUM 2021online】
会 期:2021年12月1日(水)〜12月3日(金)10:00〜17:00
会 場:東京ビッグサイト 西ホール
入場料:1,000円(入場登録者、招待状持参者、中学生以下は無料)
会 期:2021年11月24日(水)〜12月10日(金)
会 場:オンライン上
入場料:無料(登録制)

VACUUM 2021真空展の入場登録はこちら

VACUUM 2021 真空展 リアル展示およびオンライン展示の入場には事前登録が必要です。
主催者専用サイトへアクセスいただき、事前登録下さますようお願い申し上げます。
https://autumnfair.nikkan.co.jp/account/form

出展製品のご案内 ★オンライン展示 ◆リアル展示

Vacuum_pump2.png

  • 大型ポンプ
スクリュー型ドライ真空ポンプ LSシリーズ LS-120A ★◆
スクリュー型ドライ真空ポンプ MS-120A ≪新製品≫ ◆
空冷ルーツ型ドライ真空ポンプ CRシリーズ CR-30B ★◆
ターボ分子ポンプ Desktop YTP ★
スパッタイオンポンプ PST シリーズ ★
スパッタイオンポンプPST シリーズ用
コントローラ
GST-07L-B ★
油回転真空ポンプ VDシリーズ ★
ターボ分子ポンプ UTM-MI ★
  • 小型ポンプ
ダイアフラム型ドライ真空ポンプ DAU-20DC ≪新製品≫ ★◆   説明員に聞く!製品説明 
ピストン型コンプレッサー DOP-81SP ≪新製品≫ ◆
油回転真空ポンプ GHD-031A ★◆
油回転真空ポンプ GHD-101 ★
真空デシケーター VDE-3

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  • ヘリウムリークディテクタ
リークディデクタ HELIOT904W2 ★◆   説明員に聞く!製品説明 
リークディデクタ HELIOT901W1 ★◆   説明員に聞く!製品説明 
リークディテクタの無償サンプリング リークテスト ★
リークディデクタ SR(Service & Rental) パッケージ HELIOT901W1≪新製品≫
  • プロセスガスモニタ
差動排気系付四重極型質量分析計 Qulee with YTP-H BGM2-202 ★◆
ガス分析計(プロセスガスモニタ) Qulee CGM2-051 ★◆   説明員に聞く!製品説明 
ガス分析計(プロセスガスモニタ) Qulee BGM2-202 ★◆   説明員に聞く!製品説明 
  • 真空計
マルチイオンゲージ(長寿命仕様) G-TRAN ST200 ≪新製品≫★◆
マルチイオンゲージ(超高真空仕様) G-TRAN SH200 ≪新製品≫★◆
スマホ対応ピラニ真空計 SWU10-U ★◆
ピラニ真空計検出ユニット
(マルチイオンゲージ用オプションユニット)
SWU10-R ★◆
  • 膜厚評価装置
触針式プロファイラ Alpha step D-600 ★◆   説明員に聞く!製品説明 
分光エリプソメータ UNECS Portable ★◆   説明員に聞く!製品説明 
  • 水晶発振式成膜コントローラ
水晶発振式成膜コントローラ CRTM-9200 ★◆
水晶板 UCRシリーズ ★◆
水晶発振式成膜コントローラマルチセンサ CRTS-12NS ★◆
水晶発振式成膜コントローラマルチセンサ CRTS-M6 ★◆

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  • DC電源
DC電源  新型DC電源 ≪新製品≫ ◆
大容量DC電源  DC-20 ◆
大容量DC電源  DC-20-AM 
小容量DC電源  DC-2 ★◆
小容量DC電源  DC-4 ◆
DC PULSE電源  DC-5-P ★◆
異常放電防止ユニット  A2K-40K ★◆
  • RF電源
プラズマプロセス用RF電源 RFS-1305N 
プラズマプロセス用RF電源 RFS-1350N ◆
プラズマプロセス用RF電源 RFS-1310N ★
RF電源操作パネル RFP-N ◆
RF電源フェーズシフター PHS-04N ★◆
マッチングボックス切換機 MEX-2N ★◆
ターゲット切替器 EXN★◆
300W 一体型RFシステム RMG-1303 ★◆
  • EB電源・EBガン
金属蒸着用EBガン  EGN-406M 
金属蒸着用EBガン  EGC-10GS 
EB電源  HPS-1000N ◆

アルバック・クライオは、株式会社アルバックの薄膜製造装置に搭載されることを中心に、また日本の科学技術分野へ貢献をすることで発展をして参りました。こちらには一例として水素の排気速度に重点をおいたクライオソープションポンプや52インチのクライオポンプの例を挙げさせていただいています。
クライオポンプ CRYO-U8H ★◆
低温機器 極低温冷凍機 ◆
低温機器 液体窒素ジェネレーター ★◆
大型クライオソープションポンプ

昭和真空は、真空技術を応用した装置の製造、販売をしております。弊社が扱う装置の大半は御客様の個別のご要望に応じたカスタムメイドの真空装置です。その為、さまざまな分野の多様なニーズお応えします。

COAT LEADERⅡ Sapio-Ⅱ ★◆
高速スパッタ・重合システム SPC-155CT ◆
ウエハトリミング装置 SST-M01T ★◆
カルーセル型高速スパッタ重合装置 SPP-155TC ★◆

説明員に聞く!製品説明

真空展2021 リアル会場にて実機展示しました一部の製品について説明員が製品紹介しておりますので、ご覧ください。

DAU-20DC.jpg HELIOT.jpg
ダイアフラム型ドライ真空ポンプ
≪新製品≫DAU-20DC
ヘリウムリークディテクタ
HELIOT900

Qulee.jpg Alpha step&UNECS.jpg
ガス分析計(プロセスガスモニタ)
Qulee
触針式プロファイラ Alpha step D-600
分光エリプソメータ UNECS Portable

※VACUUM 2021 真空展の入場登録はこちらから ⇒ https://biz.nikkan.co.jp/eve/vacuum/

出展製品に関するお問い合わせ

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