Technology

ドライルームで使える小型真空ポンプ

■ドライルーム内で使える吸着搬送用小型真空ポンプ

近年では、二次電池やペロブスカイト太陽電池の製造・開発において、ドライルーム環境を使用する機会が増えてきています。
同様にドライ環境でも使用できる真空ポンプへのニーズが高まっており、お客様からのお問い合わせも増えきています。
現状として、ドライルーム環境に適していると明言している真空ポンプはありません。アルバックでは他社より先じて、ドライルーム内で使用できると宣言した真空ポンプを販売しています。

■ドライルーム（露点温度－40℃）でも使えることを検証済み

露点温度－40℃のドライ環境下において、耐久試験を実施しています。約１年に相当する8,000時間経過後でもドライ環境の影響による性能の劣化がなく、仕様を満足していることを確認済みです。
そのため、アルバックは自信をもって「ドライルーム内で使えます」と言えるのです。
*通常環境下における部品の摩耗は除きます。

■豊富なラインナップと多くの販売実績

アルバックのダイアフラム型真空ポンプは標準機だけで20種類以上あり、他にも揺動ピストン型、スクロール型と多岐に渡ります。
どの機種も厳しい信頼性評価を経て市場に投入し、長くご好評いただいていて販売を継続している製品ばかりです。
豊富なラインナップの中から最適な機種を選定させていだきますので、是非アルバックにご相談ください。
今後はさらに新たなドライルームを設置して、検証も加速していく計画です。
*ドライルームの設置は計画中(2026年現在)のため、予告なく変更する事がございます。

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■ドライルームに適した真空ポンプのラインナップ

小型でコンパクトな製品から、排気速度の大きなものまで、多数あるラインナップの中から一部の製品を以下にご紹介します。
今後、ドライルームで使用可能な真空ポンプは検証と共に増えていく予定です。

型式	排気速度	到達圧力*	質量	最大寸法
DAP-6D	6 L/min (50Hz) 7 L/min (60Hz)	6.65 kPa -94.7 kPa	1.9 kg	91x163x100.6
DA-20D	20 L/min (50Hz) 24 L/min (60Hz)	5.33 kPa -96.0 kPa	7.2 kg	118x242x178
DA-121D	120 L/min (50Hz) 145 L/min (60Hz)	3.3 kPa -98.0 kPa	26 kg	193.5x411x285
DAP-12S	12 L/min (50Hz) 14 L/min (60Hz)	24.0 kPa -77.3 kPa	1.9 kg	91x163x100.6
DA-40S	40 L/min (50Hz) 46 L/min (60Hz)	19.9 kPa -81.4 kPa	7.2 kg	128x242x178
DA-241S	240 L/min (50Hz) 260 L/min (60Hz)	16.0 kPa -85.3 kPa	26 kg	207x411x285