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(1)アプリケーションデータ 蒸着装置残留Gas Date

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大気圧成分 N2:78% O2:21% Ar:0.9%

・通常の高真空状態はH2O,H2が多い

・Leakの有無はN2(28)・O2(32)のIon強度とその比から判断することが出来る。

・油成分の汚染はM/e=39,41,43,55,57(CxHy)で判断できる

(2)アプリケーションデータ PVD Process Gas DataSemi

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(3)アプリケーションデータ PVD Process Gas Data FPD

Ar Gas導入時(2)(Ar 400 sccm導入時に、O2を2 → 4 → 6 → 8 → 10sccm)

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(4)アプリケーションデータ  PVD Process Gas Data semi

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(5)計測例  真空乾燥炉・Process Data

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ソリューション

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