真空泵(高真空)｜产品中心

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全部低温泵超级冷阱涡轮分子泵溅射离子泵油扩散泵排气单元

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低温泵
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极限压力

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请不要选择	1.0×10^-10	1.0×10^-8	1.0×10^-6	1.0×10^-4	1.0×10^-2	1.0	1.0×10²	1.0×10³
请不要选择	7.5×10^-13	7.5×10^-11	7.5×10^-9	7.5×10^-7	7.5×10^-5	7.5×10^-3	7.5×10^-1	7.5
请不要选择	1.0×10^-12	1.0×10^-10	1.0×10^-8	1.0×10^-6	1.0×10^-4	1.0×10^-2	1.0	1.0×10¹

（単位）	Pa	Torr	mbar

排气速度

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100

500

2000

3000

4000

5000

10000

50000

70000

（単位）	L/s

製品種別

法兰尺寸

1 Inch（25A） 1・1/2Inch（40A） 2 Inch（50A） 2.1 Inch（65A） 4 Inch（100A） 6 Inch（150A） 8 Inch（200A） 10 Inch（250A） 12 Inch（300A） 14 Inch（350A） 16 Inch（400A） 20 Inch（500A） 22 Inch（550A） 30 Inch（750A） 36 Inch（900A） 52 Inch（1300A）

品牌

真空泵(高真空)

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