校正リーク豆知識 | HELIOT内蔵校正リーク　校正の重要性

HELIOT内蔵の校正リークで校正の重要性について考えてみてください。

HELIOTを新規購入いただいた際、その時の内蔵校正リークの流量が2.0E-8(Pa・m3/s)だったとします。
HELIOTの設定画面で内蔵校正リーク流量を入力する項目があり、当然2.0E-8(Pa・m3/s)と入力されています。
簡単にお伝えするとHELIOTが自動感度校正をしているとき、内蔵校正リークのヘリウムを吸って、今吸ったヘリウム流量が設定画面で設定された2.0E-8(Pa・m3/s)なんだとHELIOTは認識します。

ところがそのまま3年間使用したとします。
3年後ですので内蔵校正リークのヘリウム流量は2.0E-8(Pa・m3/s)から1.8E-8(Pa・m3/s)に減っていたとします。

対してHELIOTの設定は2.0E-8(Pa・m3/s)のままです。
よって自動感度校正の時に吸ったヘリウム流量は実際は1.8E-8(Pa・m3/s)なのに2.0E-8(Pa・m3/s)とHELIOTは認識してしまいます。

この状態のHELIOTでリークテストを行った場合は表示されるリーク量が実際のリーク量より大きくなってしまいます。
1.8E-8(Pa・m3/s)のヘリウムを検知したとき2.0E-8(Pa・m3/s)と認識してしまうためです。

HELIOTには内蔵校正リークの減衰率、温度係数の補正を行う機能がありますので経年や外気温による影響をある程度、係数補正する機能を搭載しています。
補正機能を有効にしておけば前述の状況でも指示値のずれの量はそこまで大きくはなりませんがあくまで係数補正だということを理解しておく必要があります。

そのため、校正リークの再校正は定期的に行い、その変化量をHELIOTの設定画面でしっかり設定することが大事になってきます。