校正リーク豆知識 | チャネル型 校正の必要性|リークディテクタの基礎知識|HOW TO|ULVAC SHOWCASE

リークディテクタの基礎知識

校正のススメと使用時の注意

ヘリウムガス封入のメンブレン型とは少し違いますが、チャネル型にも校正の必要があります。

チャネル型校正リークの一番大事な部位がヘリウムガスを収束させて出力するオリフィスです。

このオリフィスは非常に細い管で穴も小さいため、水分やほこりなどの汚れの付着によってヘリウムガス出力が変わったり、安定しなくなったりすることがあります。
高温多湿、ほこりっぽいなどの環境に弱いため、保管、使用する際はご注意ください。




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リークディテクタの基礎知識

HOW TO

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