HELIOT豆知識 | 計測器としての管理方法|リークディテクタの基礎知識|HOW TO|ULVAC SHOWCASE

リークディテクタの基礎知識

HELIOTは計測器?

HELIOTはヘリウムの量を計測する機器。計測するんだから計測器。
というわけでHELIOTを計測器として管理しているお客様がいらっしゃるかもしれません。

実はその考え方は、少し間違っています。
校正リークの豆知識も併せてご覧いただけると一層ご理解いただけると思いますが、HELIOTは計測器ではなく、排気系装置、設備寄りの製品です。

そもそもHELIOTは計測器ではないのでHELIOT自体を計測器と登録してしまうと計測器の校正と排気系としてのオーバーホールが混在してしまい、管理がとても難しくなります。
監査の時に先月オーバーホールしたということで安心していたら、校正していないのでは?と指摘されてしまうなど...


HELIOTと内臓校正リークの管理方法

では、どのようにして管理するべきでしょうか。

HELIOT内部に校正リーク(詳細は校正リーク豆知識をご参照ください)が内蔵されています。
計測器として登録が必要であれば、この校正リークを登録するのが正しい管理方法です。

HELIOTは排気系装置としての運用、定期的なオーバーホールを行う管理、内蔵校正リークは計測器として定期的な校正を行う管理ということになります。

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HOW TO

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