リークディテクタの基礎知識

(1)運転中の振動を与えない

ターボ分子ポンプは高速で回転しているため、振動のある場所で使用したり、運転中に機器を乱雑に移動したりする事はターボ分子ポンプの破損に繋がります。

<HELIOT停止中画面>
ターボ分子ポンプの回転数を表示する工夫がされています。
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(2)突発的な圧力上昇に注意

分析管の圧力上昇は、イオンソースのフィラメントが焼き切れたり、分析管内部の汚染に繋がります。感度低下が進み、ターボ分子ポンプへのダメージも蓄積されます。

分析管の圧力上昇の主な要因としては、真空法で検査中に不用意にWorkが外れる場合が挙げられます。接続許容圧力を超えた場合のインターロック機能は搭載していますが、分析管の圧力上昇を完全に防ぐ事はできません。

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HOW TO

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