HELIOT豆知識 | バックグラウンドが下がらないときの対処法|リークディテクタの基礎知識|HOW TO|ULVAC SHOWCASE

リークディテクタの基礎知識

バックグラウンドが下がらなくなる理由

大量のヘリウムガスを一気に吸引してしまうとHELIOT内部にヘリウムガスが残存してしまい、それが抜けきるまでバックグラウンドが下がりづらくなる事があります。
さらにHELIOT内部に汚れなどが蓄積していると、その汚れにも付着し、汚れに付着したヘリウムガスはさらに抜けきるまで時間がかかります。

バックグラウンドが下がらないときの対処法

バックグラウンドが下がらなくなってしまった際の対処方法は主に二つあります。
HELIOT単体(テストポートブランク)でテストを継続する方法と、テスト・ベント動作を数回繰り返す方法です。

またHELIOT900にはフォアラインに残留したヘリウムガスを追い出すことができるクリーンアップ機能が搭載されています。

それでも状況があまり良くならない場合は、テストスタンバイ時にテストポートを開放し、そのままテストスタートしてください。テストポートから大量の大気を吸い込ませることで残存ヘリウムを追い出す効果を高めます。
ただし長時間行うとHELIOT内部へのダメージが考えられるので、最長3分間を目安に実施してください。

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HOW TO

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