ヘリウムリークテスト
リークディテクタを使用し真空中のヘリウム分圧の変化から漏れを検知する測定方法をヘリウムリークテストといいます。
他の検査方法が、体積、圧力、真空度などで判断するのに対し、作業者のスキルに依存することなく圧倒的な高感度・高精度が得られます。
漏れが小さくなっても、判定時間を長く取る必要はないので早い検査が可能です。
また、ヘリウムガスは安全で不活性、環境にも優しいクリーンな検査ができます。
ヘリウムリークテスト以外のリークテスト
(1)加圧テスト
| (a)加圧放置法 | (b)差圧法(AirLeak) | ©水没法 |
| 空気圧に締切り、圧力降下で全体の漏れ量を確認 | 空気加圧後締め切り、模擬リークWorkとの圧力降下を比較 | 空気加圧し水中で気泡を確認 |
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| (d)水圧法 | (e)石鹸水塗布法 | (f)ハゲロンガスプローブ法 |
| 水圧をかけて水漏れを確認 | 空気加圧してバブル（気泡）の目視検査 | 冷媒ガスで加圧して、ガス検出器を使用 |
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| (g)染色浸透探傷検査 | ||
| 浸透液(有色)を空気と一緒に加圧し、目視検査 | ||
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(2)真空テスト
| (h)真空放置法（ビルドアップ） | (i)液塗布法（アルコールチェック） |
| 真空排気し締め切り、圧力上昇で全体の漏れ量チェック 漏れ箇所の特定は不可 |
真空排気をしながら、アルコール等を塗り到達圧力の変化をチェック 漏れ箇所探しの手法 |
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各リークテスト方法の特性比較
■ 各検査方法の特徴
