校正リーク豆知識 | チャネル型の構造｜リークディテクタの基礎知識｜HOW TO｜ULVAC SHOWCASE

リークディテクタの基礎知識

校正リーク豆知識 | チャネル型の構造

主にスニッファー法で使用する校正リークがチャネル型校正リーク。
Heガス接続口に任意のヘリウムガスを接続しオリフィスでガス流量を絞ることで一定のヘリウム流量を出力します。

出力先にスニッファープローブ先端を当てがって出力されたガスを吸引させることで感度校正を行います。
ちなみにJISで規定されている、チャネル型の校正リークですが日本国内で製造しているのはアルバック（0.1MPa加圧）、アルバックテクノ（0.1MPa加圧以上）のみです。




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