校正リーク豆知識 | メンブレン型の構造|リークディテクタの基礎知識|HOW TO|ULVAC SHOWCASE

リークディテクタの基礎知識

HELIOTに内蔵されているメンブレン型校正リーク。
真空排気接続口を負圧にしてあげると微小ヘリウムガスが出てきます。

ですが、あんな小さなボディなのに中のヘリウムガスが無くなったったという話、聞いたことがありません。なぜでしょうか?

校正リークの中には密閉されたガラス管のようなものがあって、その中に加圧されたヘリウムガスが入っています。
それだけです。ん?どうやってヘリウムガスが出てくるの?密閉されていてはヘリウムガスは出てこないのでは?

そうなんです。実はヘリウムガスに限った話ではないのですが、差圧(この場合校正リークの引き口が負圧(真空)/ 密封されたヘリウムガスは陽圧(加圧))ができると圧力の低いほうへ透過現象が起こり、この場合ですとヘリウムガスがガラス管のガラスを通り抜けてきます。
通り抜けてくる量はご存じの通り、とても微小なためヘリウムガスが無くなることは半永久的にありません。




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