リークディテクタの基礎知識

ヘリウムリークディテクタは、ヘリウムガスを使用した漏れ検査(以下、ヘリウムリークテスト)において、漏れ量や漏れ箇所の特定を行うための検査装置です。ヘリウムリークテストは、漏れ検査の中でも感度的に最も優れ、かつ微小な漏れに対しても短時間で精度よく検査ができるため、各種配管構造の部品全般、電子デバイス、空調、冷凍機、自動車関連などの生産ラインをはじめ、食品・薬品包装、医療機器など、漏れ検査が必要とされるあらゆる分野で使用されています。

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■ 漏れの定義
壁の孔を通って気体が移動する現象

■ 漏れの単位
Pa・m3/sec (パスカルリューベパーセック)

  • 単位時間[sec]に移動した気体体積(絶対圧力[Pa]×容積[m3])
  • ごく小さい値なので一般的に有効桁数2~3桁の指数で表記 (*.**E-*Pa・m3/sec)
  • 計算記号はQ

他の流量単位との換算

Pa・m3/sec mbar・l/sec Torr・l/sec atm・cc/sec lusec sccm slm Mol/sec
1 10 7.5 9.87 7500 592 0.592 0.000441

・Torr, atm はSI単位系でないので日本国内では使用不可
・例えば2.5E-8Pa・m3/secの場合には、口頭では「2.5の8乗」と省略される場面が多い。

■ 産業別の検査レベル(目安)

Q [Pa・m3/sec] E-3 〜 E-5 E-5 〜 E-7 E-9 〜 E-10 E-11 〜 E-12
対象 水道管
ガス管
空調
熱交換器
コンプレッサ
自動車部品
真空部品 原子力
宇宙関連

HOW TO

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