ヘリウムリークディテクタは、ヘリウムガスを使用した漏れ検査（以下、ヘリウムリークテスト）において、漏れ量や漏れ箇所の特定を行うための検査装置です。ヘリウムリークテストは、漏れ検査の中でも感度的に最も優れ、かつ微小な漏れに対しても短時間で精度よく検査ができるため、各種配管構造の部品全般、電子デバイス、空調、冷凍機、自動車関連などの生産ラインをはじめ、食品・薬品包装、医療機器など、漏れ検査が必要とされるあらゆる分野で使用されています。
■ 漏れの定義
壁の孔を通って気体が移動する現象
■ 漏れの単位
Pa･m3/sec （パスカルリューベパーセック）
- 単位時間[sec]に移動した気体体積（絶対圧力[Pa]×容積[m3])
- ごく小さい値なので一般的に有効桁数2～3桁の指数で表記 (*.**E-*Pa･m3/sec)
- 計算記号はQ
他の流量単位との換算
| Pa･m3/sec | mbar･l/sec | Torr･l/sec | atm･cc/sec | lusec | sccm | slm | Mol/sec |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 10 | 7.5 | 9.87 | 7500 | 592 | 0.592 | 0.000441 |
・Torr, atm はSI単位系でないので日本国内では使用不可
・例えば2.5E-8Pa･m3/secの場合には、口頭では「2.5の8乗」と省略される場面が多い。
■ 産業別の検査レベル（目安）
| Q [Pa･m3/sec] | E-3 〜 E-5 | E-5 〜 E-7 | E-9 〜 E-10 | E-11 〜 E-12 |
|---|---|---|---|---|
| 対象 | 水道管 ガス管 |
空調 熱交換器 コンプレッサ 自動車部品 |
真空部品 | 原子力 宇宙関連 |
