校正リーク豆知識 | 校正リークとは|リークディテクタの基礎知識|HOW TO|ULVAC SHOWCASE

リークディテクタの基礎知識

リークディテクタやリークテスト、ALT(自動リークテスト装置)などのお話をすると必ずと言っていいほど"校正リーク"というキーワードが出てきます。
知ってる方は知っていると思いますが、"校正リーク"ってなに?なんで必要なの?なにしてるの?という方もいらっしゃると思います。
そこで、"校正リーク"とは何なのか、どんな役割を担っているのかを簡単にご紹介しようと思います。
ご興味ございましたらぜびご一読ください。

校正リークの役割

リークテストではリークディテクタを使用することがほとんどです。
リークディテクタはヘリウムなどのガスの流量を測定する機器です。

ここで測定という言葉が出てきました。
例えば長さを測定する際に皆さんは何を使いますか?定規やメジャーなどになると思います。

その定規やメジャーをよく見てみます。
目盛りがあって一番小さい目盛りは一般的には1mmだと思います。
1mmの長さは難しい話は置いておいて決まっています。
1mmが決まっていれば、その積み上げで10cm、1m、10m・・・と各々の長さがわかると思います。

ところがリークテストでいうヘリウムガスの1mmはリークディテクタだけではわかりません。
リークディテクタはヘリウムガスを見つけることはできますがそれがどのくらいの流量なのか、実はわかりません。

え?今使ってるディテクタはヘリウム流量が分かるよ?とおっしゃる方もいると思います。
それは何故かと言いますと、リークディテクタの中に"校正リーク"が内蔵されているからです。

"校正リーク"にはその構造や原理、使用用途の違いでメンブレン型とチャネル型があり、HELIOTですとメンブレン型の校正リークが内蔵されています。
(その特徴などについては別項目の「校正リーク メンブレン型の構造」、「校正リーク チャネル型の構造」をご参照ください。)

またALTなどではリークテストNGの基準としてNGワークなどとともに"校正リーク"がマスターなどの呼び名で用いられることもあります。
"校正リーク"からは決まった流量のヘリウムガスが共有されます。
その出力された流量とリークディテクタが見つけたヘリウムガスの流量を比較して、値付けしているのです。

長さで例えると、"校正リーク"から出力されるヘリウムガスは100mとわかっています。
リークディテクタで見つけたヘリウムガスが100mの1/20だったとすると100m/20で5mなんだと値付けするイメージです。

リークディテクタの基礎知識

HOW TO

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