High Vacuum Pump

ULVAC vacuum pumps are developed based on abundant technology and experience in the vacuum field. We have a lineup of vacuum pumps for all areas, conditions, and applications such as Turbo Molecular Pumps, Cryopumps and Sputter Ion Pumps.

Pump Type

All Cryo Pump Super Trap Turbo Molecular Pump Ion Pump Oil Diffusion Ejector Pump Vacuum Pumping System High Vacuum Pump Oil

Select series
Select condition

Cryo Pump
Super Trap
- CRYO-T Series
Turbo Molecular Pump
Ion Pump
- PST Series
- PST Series Controller
Oil Diffusion Ejector Pump
Vacuum Pumping System
High Vacuum Pump Oil

Ultimate Pressure

※Scroll through the Table

Do not select	1.0×10^-10	1.0×10^-8	1.0×10^-6	1.0×10^-4	1.0×10^-2	1.0	1.0×10²	1.0×10³
Do not select	7.5×10^-13	7.5×10^-11	7.5×10^-9	7.5×10^-7	7.5×10^-5	7.5×10^-3	7.5×10^-1	7.5
Do not select	1.0×10^-12	1.0×10^-10	1.0×10^-8	1.0×10^-6	1.0×10^-4	1.0×10^-2	1.0	1.0×10¹

（単位）	Pa	Torr	mbar

Pumping Speed

※Scroll through the Table

100

500

2000

3000

4000

5000

10000

50000

70000

（単位）	L/s

Product type

Flange

1 Inch（25A） 1・1/2Inch（40A） 2 Inch（50A） 2.1 Inch（65A） 4 Inch（100A） 6 Inch（150A） 8 Inch（200A） 10 Inch（250A） 12 Inch（300A） 14 Inch（350A） 16 Inch（400A） 20 Inch（500A） 22 Inch（550A） 30 Inch（750A） 36 Inch（900A） 52 Inch（1300A）

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